多功能燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。主要用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。
1、檢查電路和水路能否正常,如正常通電,通水。
2、翻開機(jī)械泵,過30秒后遲緩翻開預(yù)抽閥,1分鐘后翻開前級閥。
3、在真空度到達(dá)10Pa以下時翻開擴(kuò)散泵,給擴(kuò)散泵加熱。
4、擴(kuò)散泵加熱到60分鐘后,關(guān)閉預(yù)抽閥,翻開高真空閥,真空度會逐步到達(dá)高真空。
5、加熱啟動,在200度以下請你選用手動加熱,在控制面板手動操作菜單中,留意次運用時,把撥鈕上下動搖一次,然后撥到手動位置,啟動加熱,輸入50左右,肯定。電流普通控制在300A以下, 自動加熱:在溫度控制界面設(shè)定溫控表自動開端加熱或開啟手動位用手動開端加熱。 以上設(shè)置闡明:從200度用時120分鐘到600度,600度時保溫30分鐘,從600度用時130分鐘到1000度,在1000度時保溫5個小時,從1000度降到600度用時60分鐘,60分鐘后程序自動中止。設(shè)定好加熱工藝后,首先中止手動加熱,然后把撥鈕撥到自動位置,啟動自動加熱程序,假如需求記載數(shù)據(jù)請在數(shù)據(jù)保管見面打“√”。
6、在保溫狀態(tài)下,一定要堅持循環(huán)水的正常循環(huán)。
7、保溫時間到后,關(guān)閉加熱開關(guān),假如不需求高真空能夠關(guān)閉擴(kuò)散泵,翻開預(yù)抽閥,關(guān)閉高真空閥,開端降溫。留意:機(jī)械泵不要關(guān)閉。
8、在溫度降到200度時關(guān)掉機(jī)械泵,關(guān)閉一切閥門。
9、在常溫下釋放壓力,沖入空氣,將原料取出。
10、如不繼續(xù)工作,應(yīng)翻開機(jī)械泵和預(yù)抽閥再抽5分鐘真空,關(guān)閉機(jī)械泵和預(yù)抽閥。堅持工作室里有真空度,避免水汽侵入。
11、壓力操作:首先在手動操作界面,報壓力形式撥到自動位置,能夠直接用儀表操作,設(shè)定好程序后按run鍵3秒啟動,按stop鍵3秒中止。